ラックソータークリーン

製品カテゴリー 作業

特長

• ●清浄度クラス 100対応(0.3μm)。
• ●非接触給電方式と棚間口背面のファン・フィルター・ユニットにより、均一で安定したクリーン度を確保。
• ●ストッカー外周パネルにシールレス構造を採用し、ケミカル汚染対策にも配慮。

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