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ラックソータークリーン
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液晶・大型パネルディスプレー生産におけるクリーンルーム用ストッカー、搬送システム。
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清浄度クラス 100対応(0.3μm)。
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非接触給電方式と棚間口背面のファン・フィルター・ユニットにより、均一で安定したクリーン度を確保。
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シールレス構造を採用し、ケミカル汚染対策にも配慮。
